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上海交通大学2026年3至9月政府采购意向-台式无掩膜直写光刻仪 详细情况
2026年02月09日 11:53 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 台式无掩膜直写光刻仪 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2026年3至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 台式无掩膜直写光刻仪 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 随着集成电路对高分辨、大尺寸、速度快、易加工的芯片制造需求，拟采购的Microwriter ML3型小型台式无掩膜光刻机直写系统 |
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。