A033499其他专用仪器仪表

飞秒激光直写系统，1台，该设备将放置于北京理工大学光电学院共用平台，面向微纳光电器件的设计加工方向，结合开展相关教学、科研和产业化工作，在设备采购完成后，从事相关方向研究的教师和学生可使用设备开展相关研究，承担相关研究项目。 该设备可以应用于真正三维立体亚微米器件制作，并且具有＜200nm的横向加工分辨力，而且能够减少加工缺陷，保证对光分束器等光量子器件的加工质量，可以实现对微纳光电和光量子器件的微纳结构的高精密加工，能够制备具有不同形状、不同功能的高精密光电/量子器件，为我校该领域的关键器件研制起到支撑作用。