A02330100电工生产设备

高温扩散炉，1台，1.炉管数量≥1管。2.最大可加工硅片尺寸≥4英寸圆片。3.作业片数量≥单片或4片/管。4.工艺类型:扩散。5.气体流量控制:进口质量流量计、流量的设定在计算机上进行，其设定值和检测值均可在显示器上实时显示。6.温度控制:采用带通讯的进口高档温控仪对加热器进行独立控制,可精确控制各段加热的温度。温控仪既可独立于计算机之外，手动设置温度，又可通过与计算机通讯，按需要设置斜率升降温或恒温，达到全自动控温的目的。7.控温精度 ±0.5℃。8热偶配置 Profile、spike。9恒温区长度≥300mm。10最高温度≥1200℃。11工艺温度:400℃~1150℃。12升温速率≥13℃/min。13最大升温功率不超过30KVA/每管。14降温速率≥3℃/min@550℃~800℃。15恒温区精度≤±1℃。。供货期：签订合同之日起，90个日历日内货到采购人指定地点并安装验收完毕（包括供货、安装、调试、培训、验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。