A02100305电子光学及离子光学仪器

聚焦离子束双束微纳加工表征系统是低轨卫星平台中星间/星地通信核心器件研发中所需要的关键大型仪器设备，同时具备聚焦离子束和扫描电子显微镜的双束系统，实现对通信发射、调制、接收器件样品表面微纳尺度的观测、微结构刻蚀、沉积以及无掩膜直写加工。利用该设备进行截面切割表征分析，可以快速定点的进行分析缺陷原因，改善工艺流程，已经成为光电芯片研究中不可缺少的设备。该设备也是通信芯片修补与线路编辑，透射电镜制样所需要的主要仪器。