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同济大学2022年10至12月政府采购意向-离子束溅射镀膜机升级 详细情况

2022年10月27日 10:15 来源: 中国政府采购网 打印

离子束溅射镀膜机升级
项目所在采购意向: 同济大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位: 同济大学
采购项目名称: 离子束溅射镀膜机升级
预算金额: 100.000000万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况 :
离子束溅射镀膜机升级采购,对现有的离子束溅射设备进行更新,将高性能滤光片的研制从400-1000nm拓展到400-2000nm波段,设备升级数量1台,有助于研发制备红外光学系统中所需的高性能滤光片。规格参数:高真空腔室:极限真空8.0×10(-8);沉积样品夹具:φ4×310mm&φ2×310mm;夹具转速:行星式转动0.05rps~0.4rps;透射式直接宽光谱光学监控系统:波长范围350-2100nm,分辨率:0.67nm;透射式直接单波长监控系统:波长范围350-2100nm,分辨率:0.1nm;溅射源:16cmRF离子源&12cmRF离子源;靶材:双旋转溅射靶材组件,φ355.6×25.4mm; 真空系统:分子泵、机械泵、Polycold。
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。