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吉林大学2022年11至12月政府采购意向-金属干法刻蚀机 详细情况
2022年11月04日 08:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 金属干法刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 金属干法刻蚀机 |
| 预算金额： | 360.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02050909金属表面处理设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购的金属干法刻蚀机，具备刻蚀Al，Au，Ti，Pt等金属的能力，Al刻蚀垂直度≥85°，6英寸基片刻蚀不均匀性≤5%，具体如下：
1. 设备主要技术指标：
1.1具备采用感应耦合等离子刻蚀8英寸或兼容2-8英寸基片上的多种金属薄膜材料（Al、Au、Ti、Cr等）的能力；
1.2 极限真空度优于3×10-6Torr，真空度自动可控；
1.3系统采用机械样品卡盘固定样片，并配置2英寸、4英寸、6英寸配套石英压环；
1.4 至少配备6路工艺气体；
1.5下电极带有水冷机控温，下电极带有加热，温度范围≥0-60℃；
1.6 带有背氦冷却；
1.7 ICP功率≥2500W，RF功率≥600W；
1.8 至少配置SF6，O2，C4F8/CHF3, Ar, Cl2等气路；
1.9 分子泵抽速≥1300L/s; 干泵抽速≥95 m3/h；
1.10 Al刻蚀垂直度≥85°；Al刻蚀对光刻胶的选择比≥1.5:1；Al刻蚀速率≥200nm/min；Al刻蚀重复性≤±4%；
1.11 Cr刻蚀垂直度≥80°；Cr刻蚀速率≥10nm/min。
2. 设备配置要求
2.1 反应腔室为Al制
2.2 ICP功率≥2500W；
2.3 偏压射频频率13.56MHz功率≥600W；
2.4 直径≥230mm铝制下电极，电极附带氦气冷却装置
2.5分子泵抽速≥1300L/s，干泵抽速≥95 m3/h；
2.6传送腔配置独立干泵，抽速>15m3/h；
2.7工艺气体至少包含6路；
2.8工艺气体流量采用MFC控制；
2.9 控制系统
2.9.1 Windows计算机操作系统运行环境，含密码权限分级控制；
2.9.2可编程工艺菜单满足所有工艺参数设置；
2.9.3 控制系统能检测相关部件的运行状态、存储工艺流程；
2.9.4 19寸或以上液晶显示器； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。