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清华大学2022年12月政府采购意向-电感耦合等离子刻蚀系统(ICP Etch System) 详细情况
2022年11月28日 10:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子刻蚀系统(ICP Etch System) | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子刻蚀系统(ICP Etch System) |
| 预算金额： | 498.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购电感耦合等离子刻蚀系统(ICP Etch System)一套，主要技术参数：
低温刻蚀工艺：
刻蚀深度： ≥ 50 µm
刻蚀速率： ≥ 1 µm/min @ hole diameter 3 µm
侧壁粗糙度： ≤ 5 nm
选择比（Si : SiO2）： ≥ 100 : 1
侧壁角度： 90±3°
均匀性（片内）： ≤ ±5% (6”)
常温Bosch工艺：
刻蚀深度： ≥ 200 µm
刻蚀速率： ≥ 4 µm/min @ trenches ≥ 50 µm
选择比（Si : SiO2）： ≥ 100 : 1
侧壁角度： 90±3°
均匀性（片内）： ≤ ±5% (4”) |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。