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zycgr210708012022年12月政府采购意向-紫外光刻机 详细情况
2022年09月01日 11:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 紫外光刻机 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称: 紫外光刻机
数量: 1台
主要功能:最大样品尺寸：6英寸；灯源功率：500W；含背对准模块；含i-line g-line h-line滤波片；
目标：对样品曝光微米级以上线宽图案以及实现键合前晶圆背对准功能；
质保期: 1年以上
售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应; |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。