当前位置：采购意向项目详情
华北电力大学2025年4月政府采购意向-低损磁控溅射镀膜仪 详细情况
2025年03月03日 13:53 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 低损磁控溅射镀膜仪 | |
| 项目所在采购意向： | 华北电力大学2025年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华北电力大学 |
| 采购项目名称： | 低损磁控溅射镀膜仪 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 低损磁控溅射镀膜仪
基片盘大小：均匀区域300mm*400mm。加热温度：室温-300℃，向下兼容，旋转速度0-30转/分钟可调
低损伤，宽靶面刻蚀，减少靶面打火，阴极冷却主动报警装置，降低阴极烧毁风险，优化阴极冷却系统。
膜厚均匀性：作压强(溅射):0.1～100 Pa，溅射不均匀性≤±5％ |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。