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山东大学2023年9至10月政府采购意向-原子层刻蚀设备 详细情况
2023年09月15日 17:53 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2023年9至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 原子层刻蚀设备 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备,A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购原子层刻蚀设备1台，产品需实现大尺寸（八寸及以下）、低刻蚀速率（≤5nm/min），高均匀性（≤±5%）、高厚度重复性（≤±3%）的材料刻蚀，满足功率器件低损伤、低速可控的刻蚀工艺。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。