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清华大学2023年10月政府采购意向-聚焦离子束修调系统 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 聚焦离子束修调系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束修调系统 |
| 预算金额： | 1700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100899其他量仪 |
| 采购需求概况 ： | 1.电子枪分辨率：无样品台减速模式下二次电子分辨率≤0.7nm@15kV，≤1.4nm@1kV；
2. 电子束最大束流值≥40nA；
3. 离子束分辨率≤3nm@30kV（多变统计法测试条件下）；
4. 离子束最大加工束流≥100nA; |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。