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华中科技大学2023年7至8月政府采购意向-双面对准光刻机 详细情况
2023年06月21日 18:24 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 双面对准光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2023年7至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 双面对准光刻机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 晶圆尺寸：1" to 200 mm；接触类型：soft, hard, vacuum；接近式曝光的间隙： 1–300 μm；间隙设置精度： 1 μm；分辨率：UV300 < 0.7 μm；顶部对准精度 (TSA accuracy)： < 0.5 μm；底部对准精度 (BSA accuracy)： < 1.0 μm |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。