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西安工业大学2026年02月至2026年04月政府采购意向-西安工业大学高真空磁控离子溅射仪 详细情况
2026年03月04日 10:22 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 西安工业大学高真空磁控离子溅射仪 | |
| 项目所在采购意向： | 西安工业大学2026年02月至2026年04月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安工业大学 |
| 采购项目名称： | 西安工业大学高真空磁控离子溅射仪 |
| 预算金额： | 40.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:高真空磁控离子溅射仪 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:溅射靶头：靶头 1 采用直流磁控溅射，适用于金属靶材；靶头 2 为射频磁控溅射，可用于无机非金属靶材，满足多种材料的溅射需求。 真空系统：搭配涡轮分子泵和旋片式真空泵，抽速分别为 90L/s 和 1.1L/s ，能在 10 分钟内将真空度抽至≤5E-3Pa，工作真空范围为 0.1-2Pa，真空测量使用复合式真空规，量程 1E-3~1E5Pa，确保稳定的高真空环境。 需满足的要求:项目建设后，可用于电极薄膜制备、电路制备和图案制备。 |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。