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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-离子束塑形IBS 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束塑形IBS | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 离子束塑形IBS |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
干泵抽速：≥150L/s；
刻蚀均匀性：≤1%；
样品台偏转范围：-90到+80℃；
温度控制范围：5-35℃；
刻蚀气体气路：≥6路 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。