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华南理工大学2022年11月政府采购意向-反应离子刻蚀系统 详细情况
2022年10月12日 08:40 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 反应离子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 反应离子刻蚀系统 |
| 预算金额： | 194.600000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 主要应用于对各种材料，包括硅、电介质、化合物半导体、金属、聚合物和光刻胶等进行等离子蚀刻，可以用于制备高精度的表面图案或者纳米结构。根据所通入气体的不同，可以实现不同材料的刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。