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中国科学院地质与地球物理研究所2023年2至12月政府采购意向-离子注入机 详细情况
2023年02月13日 14:21 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院地质与地球物理研究所2023年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.离子类型 氢、氦等气体。2.离子能量 在20keV~30keV下电离引出，可减速至1keV 3.进气量控制范围 0~10 sccm；4.靶台温控范围 冷台-140℃~常温；热台常温~550℃；测温精度±5℃；5.靶室/腔体 数量×2，尺寸400mm×350mm×300mm；6.腔体真空度要求 极限真空：8×10-5 Pa典型工作真空：2×10-4 ~1.5×10-3 Pa；7.束流测量精度 ±2μA/cm2；8.束流观察 荧光板目测可见；9.预留接口 金属离子源、微量气氛和残气分析 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。