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复旦大学2023年11月政府采购意向-氧化硅/氮化硅刻蚀机 详细情况
2023年10月24日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 氧化硅/氮化硅刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 氧化硅/氮化硅刻蚀机 |
| 预算金额： | 420.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购硅基/磁性材料/氮化物材料体系兼容的精确刻蚀的设备。通过等离子体技术，实现多种材料体系的超高精确刻蚀，以制造微纳米结构和器件。主要应用于半导体器件制造、微电机系统(MEMS)制造和光电子器件制造等领域。核心组成部分包括刻蚀腔、等离子体源、真空系统和控制系统等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。