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东南大学2022年10至12月政府采购意向-8寸光刻机 详细情况
2022年10月20日 16:00 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 8寸光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 8寸光刻机 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1台。
1.最大晶圆尺寸： 8英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片；
2.曝光光源：曝光光源支持 365nm、 405nm、 435nm；
3.分辨率：优于0.8 um；
套刻精度：正面套刻精度±0.5um；背面套刻精度：±1um； |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。