当前位置：采购意向项目详情
北京大学2026年8月政府采购意向-离子束刻蚀机 详细情况
2026年07月09日 16:12 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2026年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 离子束刻蚀机 |
| 预算金额： | 1200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 基于高能离子束物理溅射原理及高精度聚焦与定位系统，可将8英寸晶圆表面光刻胶或金属掩膜定义的微纳图形，通过可控离子束轰击精准转移至金属、半导体、绝缘体等特殊材料层，形成高保真微纳结构，并确保刻蚀后尺寸精度与表面损伤度满足工艺要求 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。