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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年1至12月政府采购意向-离子刻蚀显影系统 详细情况
2025年01月07日 18:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子刻蚀显影系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 离子刻蚀显影系统 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购离子刻蚀显影系统1套，用于真空互联的前提下探索新的纳米加工技术开发，实现真空互联干膜光刻胶显影和无掩膜图形化，避免水氧接触，完成真空器件图形化。以缓冲腔与超高真空管道互联，缓冲腔真空度≤1×10-7Pa；反应室真空度≤5×10-5Pa；至少5路气体，H2、O2、Ar、N2等气体，同时预留5路供切换其他气体，均以MFC控制流量；可实现2英寸样品刻蚀深度100 nm，不均匀性≤ ±5% |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。