当前位置：采购意向项目详情
清华大学2022年12月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积PECVD 详细情况
2022年11月30日 18:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体增强化学气相沉积PECVD | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积PECVD |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购等离子体增强化学气相沉积PECVD1台，技术参数需求：
等离子源：配有RF射频电源，功率不小于300W；配有LF电源，功率不小于500W。
工艺腔体设备为Al制腔体，腔室带有加热内衬，带有预真空室，且配有独立干泵，样品台加热，最高温度不低于400℃。
气路系统可支持至少6路气体，每路工艺气路均配置质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀。
样品进样室(load-lock)采用独立干泵，工艺腔体干泵抽速不小于480立米每小时。
腔室极限真空优于5*10-3 Torr |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。