A02100899其他量仪

1. 设备通过液晶调制，得到全范围内的Ψ和Δ，在测量范围：Psi= 0°-90°，Delta= 0°– 360°，无死区。 2. 设备可实现在标准样品SiO2/Si，厚度测量准确度d: t: 4 A- n(632.8 nm)± 0.002 Fused silica: n ± 0.004 (基于NIST 1000 A SiO/Si一级标样进行验证。卖方提供基于该标样的测量准确度出厂报告。如需现场验证该指标，买方需提供合格的NIST 1000 A SiO/Si一级标样) 3. 设备支持全光谱一次测量，最短时间：≤1s 4. 设备标准样品厚度测量重复性：≤0.2 Å(基于NIST 150 A SiO/Si一级标样进行验证。卖方提供基于该标样的测量重复性出厂报告。如需现场验证该指标，买方需提供合格的NIST 150 A SiO/Si一级标样) 5. 厚度测量准确度d≤参照值±15 Å。 设备标准样品厚度测量重复性：≤0.3 Å 6. 测量光谱范围：450nm-1000nm。 7. 椭偏光源为双光源：卤素灯和蓝色LED 8. 光谱椭偏系统基于液晶相调制器进行信号调制，调制过程中没有旋转光学部件，不存在光束转动现象，保证了全范围精良的测量精度。 9. 本设备的光谱信号检测系统采用：高灵敏度2048像素大尺寸CCD探测器 10. 设备采用无色差微光斑技术，无须更换光纤及增加透镜，所有微光斑尺寸支持自动设置，70°入射角时最小光斑可达100 um*100 um，最大尺寸为500um* 500 um。提供至少4种不同尺寸光斑，计算机控制光斑尺寸，通过测量软件自动选择不同光斑类型。 11. 设备提供光斑可视附件，支持直接光斑可视成像，通过计算机屏幕同时观测样品表面和光斑成像。 12. 设备提供计算机控制的X-Y-Z样品台，XY方向行程200mm，Z方向50mm，步长精度5μm。