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西安交通大学2022年12月政府采购意向-电子束光刻系统 详细情况
2022年12月01日 11:51 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安交通大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻系统 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于纳米尺度的电子、光电子器件的制备与新型器件开发，例如相变、阻变存储器件及阵列、硅光电子器件等，包括但不限于典型的T型结构、限制型结构、硅光器件后加工溅射窗口以及针对性设计的特殊微结构加工等。设备需具有~1nm的超高分辨率及成熟电子束操控能力，具备曝光图案的分层设计功能，可在硅、二氧化硅等多种衬底材料上实现复杂图形的直写处理等。此外，设备还需具备高分辨形貌表征与成分分析能力。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。