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兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 详细情况
2022年10月14日 16:51 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 |
| 预算金额： | 38.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402，A02100206，A02100503 |
| 采购需求概况 ： | 高真空多功能复合纳米材料沉积系统是一种用于材料科学、物理学领域的工艺试验仪器，包含沉积系统和离子刻蚀系统。是物理气相沉积的一种，同时也是物理专业学生应具备的技能之一。系统组成
JCP500高真空多靶磁控溅射镀膜机配有离子反应刻蚀系统。最大样品数量为2英寸样品4片（以实际设计为主）。主要由真空专用不锈钢腔室、三只3英寸圆形平面磁控靶；直流脉冲溅射电源1台、射频溅射电源各1台。机械泵+分子泵高真空系统、旋转、加热基片台（室温至600±1℃可调可控）、机架、气路、水路、逻辑按钮控制及安全保护等组成。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 张老师
zhangzx@lzu.edu.cn |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。