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同济大学2023年2至12月政府采购意向-同济大学物理科学与工程学院离子束溅射镀膜机（氟化物）采购项目 详细情况
2023年02月14日 10:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 同济大学物理科学与工程学院离子束溅射镀膜机（氟化物）采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 同济大学2023年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 同济大学 |
| 采购项目名称： | 同济大学物理科学与工程学院离子束溅射镀膜机（氟化物）采购项目 |
| 预算金额： | 1750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 设备用于193nm波长的光学薄膜制备，主要是通过蒸发法(热法和电子束法)制备氟化物的生产，是改进沉积氟化膜的质量和性能的重要技术途径。针对高质量193nm薄膜的制备，需使用离子束溅射设备（氟化物）进行攻关工作，在高光刻质量光刻设备中具有广泛的应用。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。