当前位置：采购意向项目详情
中山大学2025年1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院无掩膜曝光机采购项目 详细情况
2024年12月02日 20:34 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院无掩膜曝光机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院无掩膜曝光机采购项目 |
| 预算金额： | 275.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100502非金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 无掩膜曝光机（1台）：375 nm激光光源；最小线宽500 nm；配备三颗光刻镜头；支持背面对准，对准精度±2微米；支持样品电动旋转；数字掩模版分辨率：≥1920*1080（高速），微镜尺寸≤7.6um；具备交互式套刻指引功能。
具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，6个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。