A02110204半导体器件参数测量仪

(一)采购标的名称:变温霍尔效应测试系统(二)采购标的需实现的主要功能或者目标:主要功能：实现掺杂半导体薄膜载流子浓度、迁移率等关键技术指标的测量。 仪器参数：1）可测试电阻率范围从10-4 Ω/sq到1011 Ω/sq；2）载流子浓度测试范围106-1021 cm-3；3）载流子迁移率测试范围1-107 cm2/V·s；4）磁场强度 0.5T，标称 ±1%；5）磁场稳定度0.1%（超过10年）；6）磁场均匀性±0.1%；7）标准配置可提供2个温度点，室温以及77K （液氮条件下）；8）配备变温测试平台，在-190°C 到 600°C区间内做变温测试。(三)采购标的数量:1套(四)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:1）货物收到后，由户指定地点和时间进行安装；2）在用户所在地对用户进行现场的操作/维护培训，直至掌握。培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、仪器基本维护等。仪器交货后一周内，应用工程师到达现场进行培训；3）保修期：自验收之日起至少二年。4）维修响应时间：保修期内，在24小时内对用户的服务要求作出响应，维修服务包括电话指导和现场维修；需要现场维修的，卖方工程师应在72小时内到达仪器现场。5）交货期：7个月之内。