A032102 电子工业专用生产设备

（1）采购标的名称：电子束光刻系统 （2）主要功能或目标：用于开展纳米材料电子器件微纳加工等科学研究，解决电子器件和芯片微纳加工中的科学与技术难题。设备需具有加速电压连续可调，最小线宽小于8纳米，电子束直径小于2纳米，套刻精度和写场拼接精度均优于10纳米，加工晶圆尺寸4到8英寸等功能；同时具有自动动态聚焦、像散矫正和写场畸变矫正系统，预对准显微镜系统等，拟购型号ELS-F125G8。 （3）标的物数量：1套 （4）标的物需满足的质量、服务、安全、时限等要求：货物需具备良好的质量保证及稳定性，货源来自原厂、正规和可靠的途径，在货物质保期内，如货物出现质量瑕疵或缺陷，供方需免费更换备件或者维修。供应商在服务期内需指定1名工程师对接我校提供技术支持与运行保障服务，提供定时巡检、技术支持、设备维保服务。供货、运输、实施时要确保货物、场地、人员安全，严格遵守学校安全管理规定和疫情防控要求。供应商需对我校师生提供免费的技术培训、操作培训及日常维护培训。设备运行期间出现故障，应尽快到现场解决。