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中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-多功能高通量高灵敏加工表征系统 详细情况
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多功能高通量高灵敏加工表征系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 多功能高通量高灵敏加工表征系统 |
| 预算金额： | 980.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100600-试验仪器及装置_A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 设备可在前端工艺中对样品进行局部的、图形化的刻蚀或沉积；可在后端工艺中对芯片的失效点进行挖掘、提取或电路修补；可对各工序中样品的质量、成分进行表征。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。