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西南交通大学2026年8月政府采购意向-西南交通大学原子级前驱体射频刻蚀装置采购 详细情况
2026年07月07日 17:05 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 西南交通大学原子级前驱体射频刻蚀装置采购 | |
| 项目所在采购意向： | 西南交通大学2026年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西南交通大学 |
| 采购项目名称： | 西南交通大学原子级前驱体射频刻蚀装置采购 |
| 预算金额： | 238.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02059900其他机械设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购项目名称：西南交通大学原子级前驱体射频刻蚀装置采购。主要采购内容及数量：原子级前驱体射频刻蚀装置一台。主要技术指标：①表面<10原子层修饰;②等离子体密度:离子体密度应达到1x1012cm-3;③工作压力范围:2~50mTorr;④腔体尺寸:最大8英寸直径晶圆、向下兼容6英寸、4英寸和更小的晶圆片或不规则碎片;⑤反应腔室真空漏率:≤2mTorr/min;Ⅵ气路系统:工艺气体至少6路，每路工艺气路均配置质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀。单独配置1路N2吹扫气路、1路He背冷却气路。时限要求：设备需在合同生效6个月内发货。 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。