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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院湿法刻蚀台采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院湿法刻蚀台采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院湿法刻蚀台采购项目 |
| 预算金额： | 100.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 湿法刻蚀台，数量4套。该设备用于样品清洗、酸碱腐蚀、lift-off等，主要技术指标：（1）过程控制：半自动操作，花篮槽间移动由人工完成；（2）槽式，最大可处理8英寸晶圆；（3）壳体由PP板焊接而成，纯水管路使用CL-PVC管，药液管路使用PFA管；（4）QDR槽1个，实现QDR标准流程功能，上喷淋、下给水，溢流、鼓氮, 快排；（5）lift-off 1个，具有加热、鼓泡功能，温度范围：室温~100℃，配有温控保护以及显示，当温度高于或低于设定值时，超温热电偶激活报警；（6）排放方式：废液重力排至回收柜，回收柜配有满液报警，及漏液感应报警。售后服务要求：2年质保期，包含人工服务及故障处理所需备件(易损易耗件除外)。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。