A032103电子工业专用生产设备

1．场发射扫描电子显微镜技术参数 1.1 电子光学系统 1.1.1 分辨率：二次电子像不低于：1.0 nm / 15kV； 1.1.2 镜筒束流采用非交叉束设计； 1.1.3不低于1.6nm / 1kV，非样品台减速模式，在低电压下可以观察断面、样品台倾斜、在原位实验时使用并且高分辨成像。 1.1.4 放大倍率：10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换； 1.1.5 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，步进≤10V, 无需模式更换； 1.1.6电子枪：肖特基热场发射电子枪； 1.1.7电子束流：最大束流不低于20nA，束流稳定度优于 0.2 %/h 1.1.8 磁透镜和静电透镜组成的复合镜筒； 1.2 样品室及样品台 1.2.1 样品室：宽度或者内部直径不小于365mm, 高度不小于275mm ； 1.2.2 五轴全自动马达驱动样品台： 移动最大范围指标： X≥125mm，Y≥125mm， Z≥50mm， T=-10°～ +90°（倾斜）， R=360°（旋转）； 1.2.3 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板； 1.3 探测器： 1.3.1样品室内二次电子探测器； 1.3.2配备镜筒内环形二次电子探测器，位于光路正光轴上，电子光路穿过环形探测器中心，探测器不能位于光路一侧。； 1.3.3 样品室彩色 相机； 1.3.4高灵敏度5象限背散射电子探测器； 1.4 真空系统 1.4.1 机械泵 1.4.2 分子泵和离子泵； 1.4.3 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa； 1.5 数字图像记录系统 1.5.1测量和标注输入：可在图像上实现尺寸测量和标注输入； 1.5.2 图像记录：TIFF, BMP，JPEG。 1.5.3 扫锚电镜工作站系统一套。 1.5.4 单张照片最大存储分辨率 32K*24K 1.6 操作系统 1.6.1 操作方式：旋钮控制面板、双轴摇杆台及鼠标；可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿； 1.6.2 具有双通道功能，双屏幕显示不同探测器拍摄的图像； 1.6.3 应具有样品台图像导航功能； 交付时间要求：合同签订后15个月内； 交付地点要求: 广州海关 售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，96小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。