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中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向-电子束直写光刻系统租赁 详细情况
2023年09月02日 23:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束直写光刻系统租赁 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 电子束直写光刻系统租赁 |
| 预算金额： | 2200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C01031300-电子、通信与自动控制技术研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 租赁电子束直写光刻系统一套，用于7nm技术节点以下技术难度最大、成本最高的集成电路光刻，提高先导器件和电路性能的同时，缩短新材料、新工艺和新结构的研制周期。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。