当前位置：采购意向项目详情
中山大学2022年11至12月政府采购意向-测试中心 聚焦离子束双束电子显微镜 项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 测试中心 聚焦离子束双束电子显微镜 项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 测试中心 聚焦离子束双束电子显微镜 项目 |
| 预算金额： | 790.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 聚焦离子束双束电子显微镜，数量：1套；
设备用途：用于微纳加工、微纳结构观察及分析、高质量定点TEM样品制备、三维重构分析。
交付时间：2023年；
交付地点要求：珠海校区
售后服务要求：2年整机保修，2次免费培训
技术要求：
1. 离子束及辅助气体注入系统技术要求4.1.1 离子束系统：4.1.1.1 离子源种类：液态Ga离子源；
2 .交叉点分辨率：≤ 2.5nm @ 30kV4.1.1.3加速电压：500V - 30 kV
3. 束流强度：1pA~100nA 4.1.1.5束流密度：60A/cm2
4. 离子源寿命：不低于1500小时
5. 辅助气体注入系统：拥有独立的分离式气体注入系统；
6. 具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行W等金属的沉积
7.可增加至5种气体注入系统，拥有10种以上备选过程方案；
8.每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染。
9. 具备可直接导入Bitmap/CAD文件，按照预先设定的间距，进行离子束沉积，加工复杂图形的能力；
10. 软件具备切片的三维重构能力。
11. 具备离子束飞行时间(TOF)校正功能，确保高速、高质量纳米图案加工
12. TEM样品纳米机械取出手软件和双束显微镜软件一体化设计4.2 电子束技术要求4.2.1 电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝★4.2.1.1分辨率：在最佳工作距离：≤ 0.6nm @ 15kV；≤ 1.0nm @ 1kV(非减速模式);0.9nm@1kV(减速模式)在束交叉点分辨率：≤ 0.6nm @ 15kV；≤ 2.5nm @ 1kV4.2.1.2在束交叉点和大倾转角时，能有优异的图像质量(样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像)4.2.1.3 束交叉点工作距离：4－5mm
13. 可用探头：二次电子探测器、背散射电子探测器，二次电子探测器，两个背散射电子探测器
14. 样品台; 五轴马达驱动样品台；
15. 样品室红外CCD相机；
16. 纳米机械手 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。