当前位置：采购意向项目详情
大连理工大学2022年11月政府采购意向-紫外掩膜光刻机系统 详细情况
2022年11月23日 09:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外掩膜光刻机系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 紫外掩膜光刻机系统 |
| 预算金额： | 199.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 紫外掩膜光刻机系统，1台。
技术参数：(1) 支持硬接触，软接触，真空接触和接近式曝光模式；
(2) 可选择恒光强模式或恒功率模式；
(3) 可实现手动对准模式；
(4) 设备适用于最大8/6/4/2英寸的单面光刻；
(5) 托盘尺寸满足2"、3"、4"、6"、8"等晶圆片，以及不规则小片的光刻作业；
(6) 真空硬接触式光刻分辨率0.8μm（1μm胶厚情况下）；
(7) 曝光光强最大500W；
(8) 光强均匀性：小于±1%@2英寸；小于±2%@4英寸；小于±3%@8英寸；
(9) 光强参数要求：
365nm光强：18mw/cm2～20mw/cm2；
405nm光强：35mw/cm2～40mw/cm2；
436nm光强：12mw/cm2～15mw/cm2
(10) 对准精度≤±1μm |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。