当前位置：采购意向项目详情
中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-激光退火设备 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 激光退火设备 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 激光退火设备是目前唯一可行区域温场快速热退火实现方案。激光退火设备可以提供一个瞬态退火氛围，由于采用扫描的工作模式，激光作用的区域小时间短，热量不会形成积累，超出的作用区域的温度会迅速下降。这使得该工艺方案可以将加热范围局域在欧姆合金区域的几百纳米范围内，从而保证了即可达到欧姆合金的快速温度作用需求，又能避免在键合界面形成热冲击的结果。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。