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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-立式低压化学气相沉积（LPCVD） 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 立式低压化学气相沉积（LPCVD） | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 立式低压化学气相沉积（LPCVD） |
| 预算金额： | 750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1、可装载晶圆尺寸：8英寸，可向下兼容；
2、4炉管，具备常压热氧、氮化硅（含低应力），多晶硅（含原位掺杂），TEOS氧化硅沉积工艺，每管处理晶圆数量：25片（不含配片）； |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。