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大连理工大学2022年11月政府采购意向-电子束曝光系统 详细情况
2022年11月23日 09:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光系统 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100301显微镜 |
| 采购需求概况 ： | 电子束曝光系统，1台。
功能：能够实现超高分辨观察及高精度图形加工功能，最高分辨率可达0.6 nm，放大倍数最大2,000,000倍，加工精度达20 nm，能够满足对精细微纳器件的加工和对材料形貌高分辨观察的要求。
技术参数：1二次电子分辨率（SE）：15kV: ≤0.6nm, 1kV: ≤0.9nm；
2背散射分辨率（BSE）：≤1.6nm；
3放大倍数范围: 5-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调；
4最大束流：≥400nA，电子束流连续可调；；
5样品台移动范围:X≥80 mm, Y≥60mm,Z≥45mm,
6曝光最小线宽：≤20nm；
7束斑选择：束斑连续可调，最小束斑优于1.5nm
8单次最大曝光面积：4mm*4mm； |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。