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浙江大学2025年9至12月政府采购意向-集成电路虚拟智造定制化CMOS研发 详细情况
2025年08月29日 11:03 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 集成电路虚拟智造定制化CMOS研发 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2025年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路虚拟智造定制化CMOS研发 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C01031300 电子、通信与自动控制技术研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 完成以下目标所涉及到的12吋CMOS产线设备的机台使用费及加工费用：
1、12", P-EPI, 8-12 ohm, Notch-100, full loop, 定制低功耗55nm CMOS成套工艺，目标NFET：Idsat≥0.600mA/um，Ioff≤650pA/um；PFET：Idsat≥0.290mA/um，Ioff≤200pA/um，需求指标达标交付晶圆数量50，提供样本TEM、SEM与成分检测200个；
2、12", P-EPI, 8-12 ohm, Notch-100, full loop, 定制高压180nm BCD成套工艺，目标NFET：Idsat≥0.600mA/um，Ioff≤100pA/um；PFET：Idsat≥0.290mA/um，Ioff≤200pA/um，需求指标达标交付晶圆数量50，提供样本TEM、SEM与成分检测200个；
3、上述晶圆需提供95%以上工艺过程数据（包括但不限于膜厚、轮廓、CD、OVL、材料属性、电性等）、晶圆缺陷DSA扫描，缺陷SEM图像、工艺过程实时传感器数据。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。