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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年2月政府采购意向-原子层材料制备模块 详细情况

2025年01月23日 11:13 来源: 中国政府采购网 打印

原子层材料制备模块
项目所在采购意向: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年2月政府采购意向
采购单位: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购项目名称: 原子层材料制备模块
预算金额: 850.000000万元(人民币)
采购品目:
A02339900其他电工、电子生产设备
采购需求概况 :
可以实现二维半导体大尺寸、晶圆级可控生长;多层材料的大面积、均匀可控生长;利用CVD工艺相对较高的成膜速率,实现二维半导体制造。样品尺寸2英寸,实现不同层数材料的可控(控制精度1层)生长,该模块可进行真空互联对接。
预计采购时间: 2025-02
备注:
以实际公告为准。

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。