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zycgr210713022025年10月政府采购意向-12英寸干法去胶机 详细情况
2025年07月04日 17:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12英寸干法去胶机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210713022025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21071302 |
| 采购项目名称： | 12英寸干法去胶机 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103 |
| 采购需求概况 ： | 用于凹槽内光刻胶残胶去除，表面等离子体活化，解键合后表面残胶去除，光刻胶灰化工艺。要求配备至少两个腔体，公共传输区域（包括机械手、暂存区等）需要做制程前、制程后路径分离。要求良好的刻蚀均匀度与刻蚀速率。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | / |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。