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中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向-X射线光电子能谱仪 详细情况
2025年02月08日 17:42 来源： 中国政府采购网 【打印】
| X射线光电子能谱仪 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | X射线光电子能谱仪 |
| 预算金额： | 900.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100405-射线式分析仪器 |
| 采购需求概况 ： | 用于12吋三维异质异构集成混合键合技术研发，开展介质和金属的组成成分和化学价态检测，支撑混合键合工艺开发，需与激活键合一体机设备联动并位于同一高洁净度试验室，目前无相关设备，急需该设备支撑项目研发。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。