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西安电子科技大学2025年10月政府采购意向-直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备 详细情况
2025年09月18日 18:08 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备 |
| 预算金额： | 340.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062099 其他电气机械设备 |
| 采购需求概况 ： | 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备，采购数量1台，要求设备18个月内保修，售后团队处于国内，售后服务长期有效，厂家通常提供专属技术顾问电话/微信支持，4小时内线上对接，48小时内可至现场解决问题，维护方便，价格合理。
具体参数为：*1.微波电源: 功率≥90kW;
2.微波泄漏率≤5mw/cm2；
3.水冷式沉积台，面积≥12英寸；
4.单晶有效生长面积≥6英寸；
*5.微波换向器内天线表面全镀金；
*6.≥75KW功率下连续生长时间≥200h；
7.冷却水:≥200L/min流量可调, 压差≥0.4MPa；
8.90KW功率下, 水温16~20℃(不凝露)；
9.极限真空≤10Pa(油泵), ≤1e-4 Pa(分子泵)；
*10.氦检漏率≤1e-10Lm/sec；
11.分子泵排气速度≥1000L/m;
12.工作压力30~240Torr;
13.MFC≥6路，H2:10sLm，CH4:1sLm，CO2:500sccm，O2:500sccm，N2:500sccm，Ar:10sLm；
*14.直流偏压100-400V可调；
15.温度范围700℃-1400℃；
*16.交货期四个月 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。