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中国科学院化学研究所2022年6月政府采购意向-等离子体刻蚀机 详细情况
2022年04月20日 13:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院化学研究所2022年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 采购项目名称： | 等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 261.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 等离子刻蚀，是芯片生产制造的重要设备，其利用在射频作用下对基片表面进行轰击的高密度等离子体，打断基片图形区域的半导体材料化学键，使其以气体形式脱离基片，起到微观雕刻的作用，制造出高加工精度的矩阵结构，是有机晶体管及矩阵电路示范性制备中不可或缺的关键设备。 |
| 预计采购时间： | 2022-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。