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zycgr240415012025年7至12月政府采购意向-等离子物理气相沉积设备 详细情况
2025年06月04日 22:33 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子物理气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 等离子物理气相沉积设备 |
| 预算金额： | 1740.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 1.真空仓体尺寸：内腔尺寸≥Ø2000mm（直径）×4500mm（长）；
2.真空除尘系统：包括真空除尘塔和集尘桶，过滤精度≤1μm。
3.极限真空度≤10 Pa；工作时真空度自动可调，在Ar和He同时供气条件下，真空可以保持≤200 Pa；在达到极限真空度后关闭真空系统，测定压升率≤7 Pa/h；
4.工件转台：配置两种分别适用于PS-PVD 和VPS的转台；具有可单独调控的公转、自转功能；
5.真空仓体内配备水平轴向直线导轨：行程不小于1000mm；导轨安装有6 轴真空机器人，可与运动轨道、工件转台通信编程联动、随动，机器人承载重量不小于20kg，重复定位精度0.4mm，可在真空高温条件下长期稳定工作；
6.等离子气体控制系统配置：可控制Ar、H2、He、N2、O2、压缩空气等工艺气体；每路气体管路配置独立气体质量流量控制器，控制精度优于±2%；
7.涂层过程中可实现在线监测功能，包括等离子体稳定性、基体温度、涂层厚度以及水汽监测等功能；
8、采购数量:1台. |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。