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zycgr210713022025年10月政府采购意向-原子层沉积系统 详细情况
2025年09月14日 09:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210713022025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21071302 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 1. 腔体尺寸8英寸
2. 衬底加热温度：50-500 ℃
3. 加热源柜：40-180 ℃
4. 薄膜沉积均匀性：片内均匀性≤±2%，片间均匀性≤±2% |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | / |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。