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上海交通大学2025年10月政府采购意向-复合镀膜系统 详细情况
2025年09月12日 16:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 复合镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 复合镀膜系统 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 含有电子束蒸镀腔、低温热蒸镀腔以及磁控溅射腔三个主要腔室。电子束蒸镀腔极限真空<1.0x10-6Pa，含有4个蒸发源。磁控溅射腔极限真空<1.0x10-7Pa，含有8个靶枪，可独立进气。热蒸发蒸镀室极限真空<1.0x10-6Pa，样品台温度低于10K，热蒸发坩埚不少于3个，带有氦气进气系统，配有高精度流量控制仪。各腔室带有独立膜厚测量仪，膜厚均匀性好于±5%。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。