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东南大学2025年1至3月政府采购意向-掩膜光刻机 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 掩膜光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 掩膜光刻机 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 加工晶圆 大小：2 英寸到 6 英 寸
2. 光刻类型：单面/双面
3. 紫外光波长：240 nm 到 450 nm（UV250 UV300 UV400）
4. 光束不均匀性：<±2.5%@8 英寸 晶圆
5. 线宽(1.2 μm 厚光刻胶)：<0.6 μm (vacuum contact，UV250)
6. 体积重量：1.17 m (W) × 1.00m
(D) × 1.86 m (H), 300 kg
7. 操控：手动和全自动可切换 |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。