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清华大学2023年10月政府采购意向-E-Beam蒸发台 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| E-Beam蒸发台 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | E-Beam蒸发台 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 可实现电子束蒸镀工作：1）衬底尺寸：10mm*10mm、2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸
2）衬底个数：单片或多片
3）沉积均匀性优于±5%@8英寸(100mm)衬底
4）衬底加热温度室温至1200℃（单片），控温精度±0.1℃，旋转速率0-30rpm
5）多种电子枪坩埚个数和容积的组合
6）电子束蒸发本底真空：高真空（10-8 Torr量级）或超高真空（10-10 Torr量级）
7）QCM膜厚在线监控 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。