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华南理工大学2022年11月政府采购意向-微纳电子加工平台制备设备采购 详细情况
2022年10月21日 09:04 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 微纳电子加工平台制备设备采购 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 微纳电子加工平台制备设备采购 |
| 预算金额： | 19990.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 微电子学院建设先进的微纳电子器件与系统制造加工平台，拟采购微纳电子器件、集成电路制造实验研究的设备43台（套），其中包括并不仅限于如下设备：
1，半自动双面对准光刻机，支持基片最大直径为150mm，接触式曝光程序。X-和Y-向位移精度在0.1μm以下。真空模式下曝光分辨率达到0.7μm。同时采购 等离子去胶机及旋涂机、热板、PDMS等周边设备
2，无掩模激光直写光刻机（分辨率10nm，刻写面积达到200 x 200 mm2）、电子束光刻系统（500um视场，线宽精度小于5 nm，1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @125 kV）
3，反应离子刻蚀机3台套、支持金属、半导体、介质薄膜的高精度干法刻蚀。
4，超高真空电子束蒸发、多靶溅射镀膜系统（6靶及以上）、PECVD、APELD，PLD等薄膜制备设备 9台套
5，MBE、MOCVD 外延设备 2 台套
6，离子注入机、快速退火炉、扩散炉、高温退火炉（支持2000℃以上工艺）
7，柔性器件制造3D喷墨打印机
8，聚焦离子束处理系统 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。